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发明名称 A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 EP1787315(A1) 申请公布日期 2007.05.23
申请号 EP20050773630 申请日期 2005.07.22
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 VERHAVERBEKE, STEVEN;BROWN, BRIAN, J.
分类号 H01L21/00;B08B3/12;B08B7/04 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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