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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ILLUMINATION FOR INSPECTION
摘要
申请公布号 JPH08105728(A) 申请公布日期 1996.04.23
申请号 JP19940268409 申请日期 1994.10.06
申请人 SUINKU:KK 发明人 YAMAMOTO TAKAHIRO
分类号 G01B11/24;G01N21/84;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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