| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR EXTRACTING PHASE FROM SPECKLE IMAGE OF OBJECT TO BE INSPECTED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08105717(A) |
申请公布日期 |
1996.04.23 |
| 申请号 |
JP19940242502 |
申请日期 |
1994.10.06 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN |
发明人 |
YOSHIDA SANICHIROU;SUPURAPEDEI;RINI UIDEIASUTOUTEI;ANUNGU KUSUNOUO;EDEI TOURI ASUUTOUTEI |
| 分类号 |
G01B11/16;C04B41/52;(IPC1-7):G01B11/16 |
主分类号 |
G01B11/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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