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经营范围
发明名称
FORMATION OF ULTRA-SHALLOW JUNCTIONS BY GAS-CLUSTER ION IRRIDATION
摘要
申请公布号
EP1787321(A2)
申请公布日期
2007.05.23
申请号
EP20050728275
申请日期
2005.03.11
申请人
TEL EPION INC.
发明人
SKINNER, WESLEY, J.;HAUTALA, JOHN, J.;BORLAND, JOHN, O.
分类号
H01L21/425
主分类号
H01L21/425
代理机构
代理人
主权项
地址
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