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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20070052990(A) 申请公布日期 2007.05.23
申请号 KR20050110866 申请日期 2005.11.18
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 KIM, DONG WON
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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