流体喷射装置及其系统以及检测该装置中墨水存量的方法

摘要

本发明提供一种具有感测器的流体喷射装置，包括一流体喷射装置及一感测器设置。流体喷射装置包括多个流体腔于一基底中，用以容纳流体其上有一第一层；至少一气泡产生装置，设置于该第一层上且在至少一流体腔的相对侧；及一喷孔，邻近该气泡产生装置且穿透该与该第一层，且与具有气泡产生装置的流体腔连通，以形成一流体喷射单元。一感测器包括一压电感测器或薄膜共振器设置在该第一层上且在另一流体腔的相对侧，以形成一流体感测单元，用以测量此另一流体腔内流体的存量。

主权项

1.一种具有感测器的流体喷射装置，包括：一流体喷射装置，其包括：多个流体腔于一基底中，用以容纳流体其上有一结构层；至少一流体致动装置，设置于该结构层上且位于至少一流体腔的相对侧；及一喷孔，邻近该流体致动装置且穿透该与该结构层，且与该流体腔连通；以及一压电感测器，设置于该结构层上且位于另一流体腔的相对侧，用以检测该流体腔中流体的存量。