真空压力控制系统

摘要

本发明提供一种可尽早检测出真空压力传感器异常、反应炉泄漏、配管堵塞等系统异常的真空压力控制系统，在通过电位计18取得的真空比例开关阀16的阀开度达到预先设定的设定值X1时(S22：YES)、通过压力传感器14、15取得的反应室10的真空压力大于预先设定的设定值X2时(S24：NO)，判断发生了真空压力传感器异常、反应炉泄漏、配管堵塞等系统异常，进行异常处(S25)，并且，设定值X1、X2通过实验等预先求得，以便可适当检测出真空压力传感器异常、反应炉泄漏、配管堵塞等各种异常。

主权项

1.一种真空压力控制系统，具有：真空比例开关阀，位于连接真空容器和真空泵的配管上，通过改变开度来改变所述真空容器内的真空压力；测量所述真空容器内的真空压力的真空压力传感器；和根据所述真空压力传感器的输出控制所述真空比例开关阀的开度的控制器，其特征在于，所述控制器预先存储系统正常动作时的所述真空压力传感器的输出和所述真空比例开关阀的开度的关系，当根据所述真空压力传感器的输出进行所述真空比例开关阀的开度控制时，通过比较所述真空压力传感器的实际输出和所述真空比例开关阀的实际开度的关系、及所述存储的所述真空压力传感器的输出和所述真空比例开关阀的开度的关系，来检测系统异常。