| 发明名称 | 抗蚀剂稀释系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种抗蚀剂稀释系统，该抗蚀剂稀释系统具有使高粘度抗蚀剂等易干燥而难以处理的液体进行流通的管道。该抗蚀剂稀释系统(1)具有管道(3)以及调制槽(2)，该管道(3)具有高粘度抗蚀剂用管道(3a)、稀释溶剂用管道(3b)以及1个流出部(3e)；该调制槽(2)将高粘度抗蚀剂和稀释溶剂混合，该高粘度抗蚀剂从高粘度抗蚀剂用管道(3a)流入、从流出部(3e)流出，该稀释溶剂从稀释溶剂用管道(3b)流入、从流出部(3e)流出；利用该抗蚀剂系统(1)，在使用时，稀释溶剂能够对通常残留在管道表面的高粘度抗蚀剂进行冲洗。 | ||
| 申请公布号 | CN1967385A | 申请公布日期 | 2007.05.23 |
| 申请号 | CN200610128932.X | 申请日期 | 2006.09.04 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 森尾公隆;长谷川透;室伏荣治 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01);G03F7/42(2006.01) | 主分类号 | G03F7/16(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁香兰;赵冬梅 |
| 主权项 | 1.一种抗蚀剂稀释系统，其特征在于，该抗蚀剂稀释系统具有：管道，该管道具有2个以上的流入部和1个以上的流出部；以及混合部，该混合部将第一液体和第二液体混合，该第一液体从所述流入部中的第一流入部流入、从所述流出部中的第一流出部流出，该第二液体从所述流入部中的第二流入部流入、从所述第一流出部流出，该第二液体的粘度相对低于所述第一液体。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||