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发明名称
A METHOD TO FORM AN INTERCONNECT
摘要
申请公布号
EP1787323(A1)
申请公布日期
2007.05.23
申请号
EP20050808802
申请日期
2005.07.14
申请人
HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P.
发明人
WENG, JIAN-GANG;PRASAD, RAVI;ADDINGTON, CARY G;NYHOLM, PETER S
分类号
H01L21/768;H01L21/288
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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