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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR100720880(B1) 申请公布日期 2007.05.22
申请号 KR20010016389 申请日期 2001.03.29
申请人 发明人
分类号 C23C16/455;H01L21/00;C23C16/18;C23C16/40;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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