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经营范围
发明名称
POLISHING FLUID AND POLISHING METHOD
摘要
申请公布号
KR100720985(B1)
申请公布日期
2007.05.22
申请号
KR20047017363
申请日期
2003.04.28
申请人
发明人
分类号
C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;C09G1/04;H01L21/321
主分类号
C09K3/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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