发明名称 液晶显示装置及其制造方法
摘要 提供液晶显示装置,其中此液晶显示装置可以降低由于连接外部驱动电路之端子产生电池反应,而使得端子部或是配线发生断线的问题,而且此液晶显示装置具有优良端子部之接触特性的端子结构。用于连接液晶显示装置之外部驱动电路之端子之显示面板侧与外部驱动端子侧之两端部被保护膜覆盖;而端子上未被保护膜覆盖之部分形成有透明性导电膜,而且端子上形成之透明性导电膜系具有未与端子两端部之保护膜连接之结构。
申请公布号 TWI281746 申请公布日期 2007.05.21
申请号 TW094124932 申请日期 2005.07.22
申请人 三菱电机股份有限公司 发明人 竹口彻;久保田健
分类号 H01L29/00(2006.01) 主分类号 H01L29/00(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种液晶显示装置的制造方法,形成有由薄膜电 晶体驱动之画素电极的画素基板与相对于该画素 基板之对向基板之间夹着液晶层,且在该画素基板 之至少一边上形成与外部驱动电路连接之端子,而 该方法包括: 在基板上形成半导体层; 在该半导体层上形成闸极绝缘膜; 在该闸极绝缘膜上形成闸极电极; 进行离子布植而在该半导体层注入掺杂物,以形成 源/汲区域; 在该基板上形成源/汲配线; 在该基板上形成端子配线; 在该端子配线之该外部驱动电路侧的区域与显示 区域侧的区域上形成绝缘性无机膜; 在该绝缘性无机膜上形成有机树脂膜;以及 在包含该绝缘性无机膜之至少一部分的该端子配 线上形成导电膜; 其特征在于: 该导电膜系与该有机树脂膜之间隔着预定之间隔 而形成。 2.如申请专利范围第1项所述之液晶显示装置的制 造方法,其中该导电膜包括透明性导电膜。 3.如申请专利范围第1项所述之液晶显示装置的制 造方法,其中该导电膜包括透明性导电膜与金属薄 膜的积层膜。 4.如申请专利范围第1、2或3项所述之液晶显示装 置的制造方法,其中该端子配线之形成与该画素基 板上之该薄膜电晶体之源/汲配线系于同一步骤形 成。 5.一种液晶显示装置的制造方法,形成有由薄膜电 晶体驱动之画素电极的画素基板与相对于该画素 基板之对向基板之间夹着液晶层,且在该画素基板 之至少一边上形成与外部驱动电路连接之端子,而 该方法包括: 在基板上形成半导体层; 在该半导体层上形成闸极绝缘膜; 在该闸极绝缘膜上形成闸极电极; 在该基板上形成第1配线; 在该第1配线上形成层间绝缘膜; 在层间绝缘膜形成与该第1配线连通之开口; 在该开口之内部填满导电体; 在包含该开口之该层间绝缘膜上形成第2配线;以 及 在该第2配线上形成透明性导电膜; 其特征在于: 该第2配线与该透明性导电膜系与形成于该画素基 板之显示区域的保护膜之间隔着预定之间隔而形 成,且该第1配线与该第2配线系藉由该开口内部之 该导电体而连接。 6.如申请专利范围第5项所述之液晶显示装置的制 造方法,其中该第1配线之形成与该画素基板上之 该薄膜电晶体之闸极电极系于同一步骤形成。 7.一种液晶显示装置,包括: 形成于基板上方之薄膜电晶体; 形成有由薄膜电晶体驱动之画素电极的画素基板; 夹于该画素基板与对向基板之间的液晶层;以及 形成在该画素基板之至少一边上且用于连接外部 驱动电路之端子; 其特征在于: 该端子系由端子配线与该端子配线上之导电膜所 组成,且有绝缘性无机膜与有机树脂膜所组成之积 层保护膜覆盖于该端子配线之该外部驱动电路侧 的区域与显示面板侧的区域上,且该导电膜形成在 包含该绝缘性无机膜之至少一部分的该端子配线 上,且该导电膜系与该有机树脂膜之间隔着预定之 间隔而形成。 8.如申请专利范围第7项所述之液晶显示装置,其中 该导电膜包括透明性导电膜。 9.如申请专利范围第7项所述之液晶显示装置,其中 该导电膜包括透明性导电膜与金属薄膜的积层膜 。 10.一种液晶显示装置,包括: 形成于基板上方之薄膜电晶体; 形成有由薄膜电晶体驱动之画素电极的画素基板; 夹于该画素基板与对向基板之间的液晶层; 形成在该画素基板之至少一边上且用于连接外部 驱动电路之端子;以及 用于将来自该外部驱动电路之信号藉由该端子而 输入显示面板侧之第1配线; 其特征在于: 该端子系由第2配线与该第2配线上之透明性导电 膜所组成,且该透明性导电膜系与形成于该画素基 板上之显示区域的保护膜之间隔着预定之间隔,且 该第1配线与该第2配线系藉由开口而连接。 图式简单说明: 第1图系显示本发明第1实施例之液晶显示装置之 端子结构的上视图。 第2图系显示本发明第1实施例之液晶显示装置之 端子结构的剖面图。 第3(a)图至第3(c)图系显示本发明第1实施例之液晶 显示装置之制造流程的概略图。 第4图系显示本发明第2实施例之液晶显示装置之 端子结构的剖面图。 第5图系显示本发明第3实施例之液晶显示装置之 端子结构的上视图。 第6图系显示本发明第3实施例之液晶显示装置之 端子结构的剖面图。 第7(a)图至第7(c)图系显示本发明第3实施例之液晶 显示装置之制造流程的概略图。
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