发明名称 氧化铈系研磨材及氧化铈系研磨材之制造方法
摘要 本发明为一种铈系研磨材,其特征在于:以氧化铈为主成份,且研磨材粒子之平均粒径为0.2~3.0μm之氧化铈系研磨材中,粒径10μm以上之粗粒子浓度为1000ppm(重量比)以下,且磁性粒子浓度在1000ppm以下(重量比)。该等粗粒子、磁性粒子以300ppm以下(重量比)为特别较佳。又,若使研磨材材粒子之比表面积平均值为0.5~30m2/g,可成为具高切削性并可形成高精度研磨面之研磨材。该等铈系研磨材之制造方法中粗粒子浓度系依分级点之控制及重覆进行分级来控制。而对磁性粒子之控制可应用以磁性材料形成之过滤器、粉碎媒体变更等方法单独或遇当加以组合来进行。
申请公布号 TWI281492 申请公布日期 2007.05.21
申请号 TW090122581 申请日期 2001.09.12
申请人 三井金属?业股份有限公司 发明人 伊藤昭文;山崎秀彦;望月直义;内野义嗣
分类号 C09K3/14(2006.01);C01F17/00(2006.01);B24B37/00(2006.01) 主分类号 C09K3/14(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种氧化铈系研磨材,以氧化铈为主成份,且研磨 材粒子平均粒径为0.2 ~3.0m, 其特征在于: 粒径10m以上之粗粒子浓度为1000ppm(重量比)以下 。 2.如申请专利范围第1项之氧化铈系研磨材,其中粒 径10m以上之粗粒子浓度为300ppm以下。 3.一种氧化铈系研磨材,以氧化铈为主成份,且研磨 材粒子之平均粒径为0.2~3.0m, 其特征在于: 磁性粒子浓度为1000ppm以下(重量比)。 4.如申请专利范围第3项之氧化铈系研磨材,其中粒 径10m以上之磁性粒子浓度为300ppm以下。 5.如申请专利范围第1、2、3或4项之氧化铈系研磨 材,其中研磨材粒子之比表面积平均値为0.5~30m2/g 。 6.一种氧化铈系研磨材之制造方法,包括: 将研磨材原料与分散媒混合成为泥状物之制程; 将该泥状物以湿式粉碎机处理以使该研磨材原料 进行湿式粉碎之制程; 将粉碎后之研磨材原料过滤及乾燥后进行焙烧之 制程;以及 将焙烧后之研磨材原料以乾式粉碎后进行分级处 理之制程, 其特征在于: 将分级点控制于0.5~15m之范围内进行分级处理。 7.如申请专利范围第6项之铈系研磨材之制造方法, 其中包括将分级处理后之研磨材至少重覆1次分级 之制程。 8.一种氧化铈系研磨材之制造方法,包括: 将研磨材原料与分散媒混合成为泥状物之制程; 将该泥状物以湿式粉碎机处理以使该研磨材原料 进行湿式粉碎之制程; 将粉碎后之研磨材原料过滤及乾燥后进行焙烧之 制程;以及 将焙烧后之研磨材原料以乾式粉碎后进行分级处 理之制程, 其特征在于: 包括使以湿式粉碎机处理之泥状物通过由激磁而 磁化的磁性材料过滤器的制程。 9.如申请专利范围第8项之氧化铈系研磨材之制造 方法,其中将磁性材料形成之过滤器磁化为磁通密 度在0. 1 ~2.0T范围内并使泥状物通过。 10.一种氧化铈系研磨材之制造方法,包括: 将研磨材原料与分散媒混合成为泥状物之制程; 将该泥状物以湿式粉碎机处理以使该研磨材原料 进行湿式粉碎之制程; 将粉碎后之研磨材原料过滤及乾燥后进行焙烧之 制程;以及 将焙烧后之研磨材原料以乾式粉碎后进行分级处 理之制程, 其特征在于: 以由非磁性材料形成之粉碎媒体作为湿式粉碎机 中充填之粉碎媒体,并将研磨材进行湿式粉碎。 11.如申请专利范围第10项之氧化铈系研磨材之制 造方法,其中使用氧化锆或氧化铝作为构成粉碎媒 体之非磁性材料。 12.一种氧化铈系研磨材之制造方法,包括: 将研磨材原料与分散媒混合成为泥状物之制程; 将该泥状物以湿式粉碎机处理以使该研磨材原料 进行湿式粉碎之制程; 将粉碎后之研磨材原料过滤及乾燥后进行焙烧之 制程;以及 将焙烧后之研磨材原料以乾式粉碎后进行分级处 理之制程, 其特征在于: 包括将焙烧后之研磨材原料通过由磁化之磁性材 料形成之管状体、板状体、棒状体附近之制程。 13.如申请专利范围第12项之氧化铈系研磨材之制 造方法,其中将磁性材料形成之管状体、板状体、 棒状体磁化为磁通密度在0.1~2.0T之范围并使泥状 物通过。 图式简单说明: 图1系表示先前铈系研磨材制造之制程。 图2系表示以雷射光绕射法测定之第1实施形态之 铈系研磨材之粒径分布图。 图3系表示本实施形态之粗粒子浓度分析法之制程 。 图4系表示本实施形态之磁性粒子浓度分析法之制 程。 图5系在第2~第4实施形态中使用之磁性过滤器之构 造概略图。 图6系第3实施形态中使用之磁性箱之概略图。
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