| 主权项 |
1.一种晶圆搬运手臂机构,其主要包含有: 机座,其预设部位具有提供晶圆组放置之一加热炉 模组与一承接座; 水平线性模组,系固设于机座上,其具有一第一滑 轨与可于其上作直线位移之一第一滑块,一转接座 ,其底端系固设于该第一滑块; 垂直线性模组,系固设于该转接座上,其具有一第 二滑轨与可于其上作直线位移之一第二滑块,一静 电消除器组,系固设于第二滑块,其包括固设于该 垂直线性模组之一静电消除器、枢设该静电消除 器之一支撑元件,以及固定支持于该静电消除器组 上之一真空吸盘。 2.如申请专利范围第1项所述之晶圆搬运手臂机构, 其中该支撑元件可由一支撑架与一固定块所构成 。 3.如申请专利范围第1项所述之晶圆搬运手臂机构, 其中该晶圆组系由一晶圆与一底盘所构成。 4.如申请专利范围第1项所述之晶圆搬运手臂机构, 其中该晶圆组放置于该加热炉模组上时,以吸力吸 住该晶圆组,其后由该加热炉模组开始加热,当温 度到达设定値时,该水平线性模组与该垂直线性模 组即带动该真空吸盘接近并吸住该晶圆组,再将该 晶圆组往该承接座的方向开始移动。 5.如申请专利范围第3项所述之晶圆搬运手臂机构, 其中该晶圆组放置于该加热炉模组上时,以吸力吸 住该晶圆组,其后由该加热炉模组开始加热,当温 度到达设定値时,该水平线性模组与该垂直线性模 组即带动该真空吸盘接近并吸住该晶圆组,再将该 晶圆组往该承接座的方向开始移动,直到该底盘完 全脱离晶圆。 图式简单说明: 图一为本创作一较佳实施例之外观示意图。 图二为本创作一较佳实施例之立体分解示意图。 图三为本创作一较佳实施例之俯视图。 图四为本创作一较佳实施例之侧视图。 图五为本创作一较佳实施例之使用状态示意图一 。 图六为本创作一较佳实施例之使用状态示意图二 。 图七为本创作一较佳实施例之使用状态示意图三 。 图八为本创作一较佳实施例之使用状态示意图四 。 图九为习知技术之示意图。 |
