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发明名称 PARTICLE CLEANER
摘要
申请公布号 KR20070052184(A) 申请公布日期 2007.05.21
申请号 KR20060031197 申请日期 2006.04.06
申请人 SENTOSOLUTION CO., LTD. 发明人 HWANG, CHOON HYUN
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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