| 摘要 |
<p>Akustisk overflatebølgegassensor, spesielt en vakuum- eller hydrogen-sensor, omfattende et piezoelektrisk substrat (1) på hvilket minst ett lag av et gassensitivt materiale (6) er anordnet mellom to interdigitale transdusere (2, 3), og omfatter et gettermateriale slik at molekylene som adsorberes av dette gettermaterialet kan variere frekvensen til et signal som overføres mellom de to transduserne (2, 3). Foreliggende oppfinnelse angår også en fremgangsmåte for fremstilling av denne sensoren.</p> |
