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发明名称 Chemically amplified positive resist composition
摘要
申请公布号 KR100719783(B1) 申请公布日期 2007.05.21
申请号 KR20010017431 申请日期 2001.04.02
申请人 发明人
分类号 G03F7/039;G03F7/004 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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