Half-tone type phase shift blank mask and manufacturing method of the same,申请号KR20060043600-传众专利搜索

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发明名称	Half-tone type phase shift blank mask and manufacturing method of the same
摘要
申请公布号	KR100720334(B1)	申请公布日期	2007.05.21
申请号	KR20060043600	申请日期	2006.05.15
申请人		发明人
分类号	G03F1/32;G03F1/26	主分类号	G03F1/32
代理机构		代理人
主权项
地址

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