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发明名称 HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070051719(A) 申请公布日期 2007.05.18
申请号 KR20060112020 申请日期 2006.11.14
申请人 ESPEC CORP. 发明人 KANDA TOSHIRO;NAGANO YUKIO;ASHIDA KENJI
分类号 H01L21/324;G02F1/13;H01J9/24 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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