DEPOSITION APPARATUS OF INORGANIC SUBSTANCES USING ELECTRON BEAM,申请号KR20050105961-传众专利搜索

发明名称	DEPOSITION APPARATUS OF INORGANIC SUBSTANCES USING ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号	KR20070051376(A)	申请公布日期	2007.05.18
申请号	KR20050105961	申请日期	2005.11.07
申请人	DAEWOO ELECTRONICS CORPORATION	发明人	CHO, WOO SEOK
分类号	C23C14/12;C23C14/28	主分类号	C23C14/12
代理机构		代理人
主权项
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