发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR20070051914(A) 申请公布日期 2007.05.18
申请号 KR20077006272 申请日期 2007.03.19
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 YOKOKAWA ISAO;NOTO NOBUHIKO;MITANI KIYOSHI
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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