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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR FABRICATING PHOTOMASK
摘要
申请公布号 KR20070051546(A) 申请公布日期 2007.05.18
申请号 KR20050109253 申请日期 2005.11.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HUH, SUNG MIN;KIM, HEE BOM;CHOI, SEONG WOON
分类号 G03F1/08 主分类号 G03F1/08
代理机构 代理人
主权项
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