发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10163424(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19960315081 申请日期 1996.11.26
申请人 TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP 发明人 OKAZOE HIROYUKI;TARUI KYOKO
分类号 H01L27/04;H01L21/82;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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