METHOD OF OPERATING VACUUM DEPOSITION APPARATUS AND VACUUM DEPOSITION APPARATUS,申请号KR20060111471-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF OPERATING VACUUM DEPOSITION APPARATUS AND VACUUM DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号	KR20070051695(A)	申请公布日期	2007.05.18
申请号	KR20060111471	申请日期	2006.11.13
申请人	SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.	发明人	AWATA HIDEAKI;EMURA KATSUJI;YOSHIDA KENTARO
分类号	C23C14/24	主分类号	C23C14/24
代理机构		代理人
主权项
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