无尘室气流体之整流装置

摘要

本发明系有关一种无尘室气流体之整流装置，其系在无尘室之天花板下方一预定距离，架设具流通细网孔隙之整流网层，使该整流网层与该天花板之间构成一正压气压舱。藉此，具有结构简单且成本低，即可增进气体垂直层流(laminar flow)之效果，并降低空气气流，因扰流而产生灰尘在扰流区漂浮，无法顺利往下降，而无尘室洁净等级度，不易维持，俾以符合预定之无尘室清净度等级者。