微波直线放电源的斜坡功率函数之系统及方法

摘要

本发明之一实施例是一种在基材上沈积薄膜之系统。该系统包含：一真空室；被设置在该真空室内之一直线放电管；被配置成产生可被施加到该直线放电管的微波功率信号之一磁控管；被配置成将一信号提供给该磁控管之一电源供应器；以及被连接到该电源供应器之一脉波控制单元。该脉波控制单元被配置成控制复数个脉波之工作周期、复数个脉波之频率、及(或)复数个脉波之轮廓。