电流量测装置

摘要

本发明系有关一种电流量测装置，该装置系于一晶片底板，以沉积金属之方式于晶片底板上形成二电阻层，该二电阻层存在一微小间隙，藉由待测电流流通第一电阻层时产生热量，侦测第二电阻层感应由第一电阻层透过间隙传入的热量引起温度变化所产生的电阻变化量，并换算出待测电流值；本发明系应用于量测微小电流，且具有小体积、重量轻等特点，因此非常适用于量测任何微小载具之输出电流。