以溅镀薄膜技术制作之编码器及其溅镀装置

摘要

一种以溅镀薄膜技术制作之编码器及其溅镀装置，包含有：一溅镀枪，用以将一靶材解离；一矽基板，用以接收该靶材之附着；一隔离板，用以将该矽基板与该溅镀枪隔离，该隔离板具有一开口；一控制装置，用以控制该溅镀枪、该隔离板、以及该矽基板之中至少有一作动；藉此，用以控制该矽基板之溅镀厚度。该矽基板可作为一编码器，其圆周以溅镀薄膜镀上一层厚度由薄渐厚的薄膜，而将该编码器装设在一马达上，藉由该编码器上之薄膜厚度可知道该马达量测转轴之位置。