| 摘要 |
本发明提供一种大气压电浆处理装置，其能够稳定产生电浆，且即使不设置出入口门亦可抑制外部气体流入装置主体内部。本发明之大气压电浆处理装置，其特征为包含：装置主体所形成的气体流路；基材搬送部，其系将被处理基材搬入及搬出气体流路内；气体供给部，其系供给处理气体至气体流路内；电浆产生部，其系由供给至气体流路内的处理气体产生电浆；及气体吸引部，其系吸引电浆产生后之处理气体；气体流路之与被处理基材搬送方向垂直之剖面的面积，对于被处理基材的搬送方向为固定，且气体流路之被处理基材搬送方向的两个端部，一方是开放端，另一方是封闭端；上述气体供给部设置于电浆产生部与气体流路封闭端之间。 |
