发明名称 改善接合效应之光罩及采用该光罩之曝光方法
摘要 本发明提供一种改善接合效应之光罩,其包括复数区块,相邻区块接合处系复数非直线形结构。于液晶显示器基板曝光中采用该种非直线形结构之光罩可以改善基板接缝处接合效应,以淡化观赏者察觉接缝边缘之直线效应。本发明还提供一种采用该光罩之曝光方法。
申请公布号 TW200719080 申请公布日期 2007.05.16
申请号 TW094139754 申请日期 2005.11.11
申请人 群创光电股份有限公司 发明人 陈弘育
分类号 G03F1/14(2006.01);G03F7/20(2006.01) 主分类号 G03F1/14(2006.01)
代理机构 代理人
主权项
地址 苗栗县竹南镇新竹科学园区科学路160号