智慧型物料搬送分析方法

摘要

一种智慧型物料搬送分析方法。取得对应一晶圆之一晶圆识别码之一第一晶圆工作批号与一第二晶圆工作批号，其中该第一晶圆工作批号与该第二晶圆工作批号分别对应一第一节点字串以及一第二节点字串。根据该晶圆识别码序与一合并条件合并对应该第一晶圆工作批号与该第二晶圆工作批号之第一节点字串与第二节点字串，从而建立一搬送路径。根据一定义之最短路径比对该搬送路径，并且根据比对结果产生命中率比对资料，并且根据该命中率比对资料产生搬送路径报表以提供搬运系统进行分析，并根据分析结果调整一自动搬运系统以消除无意义之搬送路径。