角速率感测装置之制造方法

摘要

一种角速率感测装置之制造方法，包括有提供一绝缘层上矽晶圆、一第一玻璃晶圆、与一第二玻璃晶圆；于第一玻璃晶圆上形成复数个凹槽；接合绝缘层上矽晶圆与第一玻璃晶圆；蚀刻绝缘层上矽晶圆之载板与绝缘层，留下结构晶圆；于此结构晶圆上，形成一结构层，其中结构层包括有一多质量块振动体与复数个柔性支撑部，复数个柔性支撑部连接于多质量块振动体并支撑振动体于凹槽中；于第二玻璃晶圆上形成复数个平面电极以及相对应之电路；以及接合第二玻璃晶圆与接合有第一玻璃晶圆之结构层。