微影散射条纹结构之特征与使用方法

摘要

一种微影光罩包含一个位于独立或半独立区域的设计特征，以及复数个垂直于设计特征的平行线型辅助特征。这些平行线型辅助特征包含位于设计特征两边的两组平行辅助特征。第一组平行辅助特征位于设计特征的第一边上，且垂直于设计特征。第二组平行辅助特征位于设计特征的第二边上，且垂直于设计特征。