基板支架及其固定构件

摘要

本发明公开了一种研磨装置及其基板支架和固定构件。该基板支架应用于研磨装置上，其包括定盘及由研磨垫与制止件所形成的固定构件。研磨垫设置于定盘的表面上，其具有多个开孔，且这些开孔的位置对应于基板的尺寸。制止件则穿过研磨垫上的开孔而设置于定盘的表面上，并且这些制止件突出于研磨垫，从而在制止件之间形成一容置区域以设置基板。根据本发明，在制造过程中需要进行换线时，只需改变制止件的设置位置即可进行不同尺寸的基板的研磨，这有效地降低了制造过程的时间及成本。

主权项

1、一种固定构件，用以吸附基板，包括：研磨垫，其具有多个第一开孔，其中所述第一开孔的位置对应于该基板的尺寸；及多个制止件，其分别设置于所述第一开孔中，其中所述制止件突出于该研磨垫，且在所述制止件之间形成一容置区域以设置该基板。