发明名称 在一基体上涂涂层和形成彩色薄膜的方法及其装置
摘要 该方法包括下列步骤:把该基体(12)置于一真空盒(14)中;一液体成分在常温常压下蒸发成一气体;以及把该气体引入该盒(14)中。该气体分解后把一辅助气体引入该盒(14)中与该分解气体反应而在该基体(12)上生成至少一层薄层。本发明还涉及一种形成一彩色薄膜的方法和能实施本发明方法的一种装置(10)。
申请公布号 CN1965102A 申请公布日期 2007.05.16
申请号 CN200580018510.0 申请日期 2005.04.01
申请人 奈伊科公司 发明人 J·杜兰德;F·劳夫雷;I·里查德特
分类号 C23C16/12(2006.01);C23C16/40(2006.01) 主分类号 C23C16/12(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 曹若;刘华联
主权项 1.在基体(12)上涂涂层的方法,该方法包括:·把该基体(12)置于真空盒(14)中;·蒸发在常温常压下的液体成分成一气体;·把该气体引入该盒(14)中;以及·分解该气体;其特征在于,把辅助气体引入该盒(14)中与该分解气体反应,从而在该基体(12)上生成至少一层称为薄层A的薄层。
地址 法国巴黎