发明名称 Integrated Helix coil inductor on silicon and method of manufacturing
摘要
申请公布号 EP1132965(B1) 申请公布日期 2007.05.16
申请号 EP20010480021 申请日期 2001.03.05
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PTE LTD. 发明人 SENG, YEOW KIAT;TAN, HAI PENG;MA, JIAN GUO;ANH, MANH;CHEW, KOK WAI
分类号 H01L27/08;H01L21/02;H01L23/64 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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