发明名称 | 半导体膜及其制造方法及使用它的半导体器件与显示设备 | ||
摘要 | 在具有绝缘表面的衬底上提供的包含多晶半导体膜的半导体膜。几乎所有的构成该多晶半导体膜的相邻晶粒之间晶体取向角之差处于小于10°或58°-62°之间。 | ||
申请公布号 | CN1316565C | 申请公布日期 | 2007.05.16 |
申请号 | CN03101617.0 | 申请日期 | 2003.01.10 |
申请人 | 夏普公司 | 发明人 | 水木敏雄;中村好伸 |
分类号 | H01L21/20(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/20(2006.01) |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 吴立明;梁永 |
主权项 | 1.一种半导体膜,包括:在具有绝缘表面的衬底上提供的多晶半导体膜,其中处于1°-10°之间或58°-62°之间的范围内的构成多晶半导体膜的相邻晶粒之间的晶体取向之差的比例为0.5-0.8。 | ||
地址 | 日本大阪市 |