发明名称 用于储存多个半导体片的盒子
摘要 一种用于储存多个半导体片的盒子,该半导体片之间在垂直方向上具有一间隔,所述盒子具有多个支撑板,该支撑板在垂直方向上彼此间隔开。一接纳切口形成在每块支撑板的前半部分中,该接纳切口的形状对应于一吸附器的形状,该吸附器用于吸附保持半导体片。该盒子还包括位于相邻支撑板之间的隔板。
申请公布号 CN1316583C 申请公布日期 2007.05.16
申请号 CN02827545.4 申请日期 2002.11.26
申请人 株式会社迪斯科 发明人 南条雅俊
分类号 H01L21/68(2006.01);B65D85/86(2006.01) 主分类号 H01L21/68(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 温大鹏
主权项 1.一种用于储存多个半导体片的盒子,该半导体片之间在垂直方向上具有一间隔,所述盒子包括多个支撑板,该支撑板在垂直方向上彼此间隔开并具有一个对应于一吸附器形状的接纳切口,该吸附器用于在支撑板的前半部分吸附保持半导体片,其特征在于:在每块相邻的支撑板之间设有隔板。
地址 日本东京都