| 摘要 |
<p>Sensoranordnung, insbesondere ein mikromechanischer Drucksensor, aufweisend ein Substrat mit einer Vorderseite und mit einer Rückseite, wobei die Vorderseite einem Medium zugewandt ist und die Rückseite auf der gegenüberliegenden Seite des Substrats angeordnet ist, wobei eine Sensormembran mit wenigstens einem Sensorbereich auf der Vorderseite, eine Ausnehmung oder ein Hohlraum hinter der Sensormembran und die elektrische Kontaktierung auf der Rückseite angeordnet ist, sowie Verfahren zur Herstellung.</p> |
