Spiegel von variabler Form und dazugehörige optische Abnehmervorrichtung

摘要

Ein Spiegel von variabler Form weist ein Substrat, einen auf dem Substrat ausgebildeten unteren Elektrodenfilm, einen auf dem unteren Elektrodenfilm ausgebildeten piezoelektrischen Film, einen auf dem piezoelektrischen Film ausgebildeten oberen Elektrodenfilm und einen Spiegelfilm auf, der direkt auf dem Substrat ausgebildet und so angeordnet ist, dass er von einem Treiberabschnitt umgeben ist, der aus dem unteren Elektrodenfilm, den piezoelektrischen Film und dem oberen Elektrodenfilm besteht. Der Spiegelfilm ist auf einem in dem Substrat vorgesehenen beweglichen Abschnitt angeordnet, und zumindest ein Teil des Treiberabschnitts ist auf dem beweglichen Abschnitt angeordnet.