薄膜剥离装置

摘要

本发明提供的薄膜剥离装置，即使对象物存在高低差，也能可靠且迅速地进行薄膜剥离。滚子装置A具有四个滚花滚子(1)，一对滚花滚子(1)分别由摆动支承体(11)支承。另外，两个摆动支承体(11)由一个摆动基台(13)支承。摆动支承体(11)能够通过摆动中心(12)相对于摆动基台(13)转动、摆动，摆动基台(13)可绕摆动中心(14)转动地安装在支承台(3)上，并且能够摆动。从而，滚花滚子(1)能绕摆动中心(14)进行大幅度摆动，还能绕摆动中心(12)进行小幅度摆动，四个滚花滚子(1)能分别沿上下方向移动。各滚花滚子(1)配置成在基板(W)的长度方向上位置错开，能够对应基板W在长度方向上存在的高低差。

主权项

1.剥离贴附在对象物上的薄膜的薄膜剥离装置，其特征在于，包括：多个滚花滚子，配置成在对象物的长度方向上位置错开，上述多个滚花滚子与上述对象物的薄膜的端部抵接，并在对象物的宽度方向上形成凹凸，从而在上述薄膜端部沿宽度方向形成剥离开始部；支承装置，支承上述多个滚花滚子，并使它们能够分别上下动作；以及剥离单元，从通过上述滚花滚子形成的薄膜端部的剥离开始部开始，将该薄膜剥离。