发明名称 一种用稻壳制备电子级球形硅微粉的方法
摘要 本发明公开了一种用稻壳制备电子级球形硅微粉的方法,包括如下步骤,前处理:稻壳干燥后粉碎成20目以下的稻壳粉,将100质量份的稻壳粉加入400质量份浓度为5~25%的氧化性酸性水溶液中,在80~300℃温度条件下刻蚀30~200分钟,水洗后干燥;热分解:在氧气或空气氛围下,在600~1000℃温度条件下,热解30~300分钟;后处理:在反应釜中,加入0.01~5质量份的结构控制剂后在60~300℃的温度下处理30~300分钟,水洗干燥后制备电子级球形硅微粉。该方法能生产纯度达99.999%、无放射性元素、粒径可控的电子级球形硅微粉,而且本发明的方法具有工艺简单、成本低、原料来源广、可再生的优点。
申请公布号 CN1962438A 申请公布日期 2007.05.16
申请号 CN200610123588.5 申请日期 2006.11.16
申请人 华南理工大学 发明人 王卫星
分类号 C01B33/113(2006.01);C01B33/18(2006.01) 主分类号 C01B33/113(2006.01)
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 代理人 李卫东
主权项 1、一种用稻壳制备电子级球形硅微粉的方法,其特征在于包括以下步骤:(1)前处理:稻壳充分干燥后粉碎成20目以下的稻壳粉,将100质量份的稻壳粉加入400质量份浓度为5~25%的氧化性酸性水溶液中,在80~300℃温度条件下刻蚀30~200分钟,水洗后干燥;(2)热分解:将步骤(1)所得产物在氧气或空气氛围下,在600~1000℃温度条件下,热解30~300分钟;(3)后处理:将步骤(2)所得产物在反应釜中,加入0.01~5质量份的结构控制剂后在60~300℃的温度下处理30~300分钟,水洗干燥后,制备电子级球形硅微粉。
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