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发明名称 Gegen Analyse geschützte Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE69931590(T2) 申请公布日期 2007.05.16
申请号 DE1999631590T 申请日期 1999.12.21
申请人 SHARP K.K. 发明人 MATSUMOTO, HIRONORI
分类号 H01L21/3205;H01L23/58;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/08 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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