| 发明名称 |
PLASMABEHANDLUNG ZUR REINIGUNG VON KUPFER ODER NICKEL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE502004003406(D1) |
申请公布日期 |
2007.05.16 |
| 申请号 |
DE200450003406T |
申请日期 |
2004.05.07 |
| 申请人 |
KOLEKTOR GROUP D.O.O. |
发明人 |
MOZETIC, MIRAN;CVELBAR, UROS |
| 分类号 |
C23G5/00;B08B7/00;B23K1/20;H01L21/306 |
主分类号 |
C23G5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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