| 主权项 |
1.一种化学增强型正光刻胶组合物，它含有(A)分子式(VIb)的化合物：<img file="A2006101620680002C1.GIF" wi="595" he="390" />其中A表示任选地被取代的脂环烃基，X表示具有1-4个碳原子的亚烷基或单键，R<sup>15</sup>和R<sup>16</sup>各自独立地表示H、具有1-12个碳原子的烷基、具有3-12个碳原子的环烷基、具有1-12个碳原子的卤代烷基、具有2-12个碳原子而且除了键合到相邻基团上的-CH<sub>2</sub>-之外的至少一个-CH<sub>2</sub>-被-S-或-O-取代的烷基，具有1-12个碳原子的烷氧基或任选地被取代的芳基，和n表示1-5的整数，条件是若n为2或更高，则在分子式(VIb)内的各-X-CO-NR<sup>15</sup>R<sup>16</sup>可不同，(B)一种树脂，该树脂含有对酸不稳定的基团的结构单元，和它本身不溶或微溶于碱性水溶液，但通过酸的作用可变得溶于碱性水溶液，和(C)分子式(I)的产酸剂：<img file="A2006101620680002C2.GIF" wi="943" he="368" />其中Q<sup>1</sup>，Q<sup>2</sup>，Q<sup>3</sup>，Q<sup>4</sup>和Q<sup>5</sup>各自独立地表示H、羟基、具有1-12个碳原子的烷基、具有1-12个碳原子的烷氧基或吸电子基团，和Z<sup>+</sup>表示分子式(Va)、(Vb)或(Vc)的基团，分子式(Va)的基团：<img file="A2006101620680003C1.GIF" wi="793" he="562" />其中P<sup>1</sup>，P<sup>2</sup>和P<sup>3</sup>各自独立地代表H、羟基、具有1-6个碳原子的烷基或具有1-6个碳原子的烷氧基；分子式(Vb)的基团：<img file="A2006101620680003C2.GIF" wi="862" he="172" />其中P<sup>4</sup>和P<sup>5</sup>各自独立地代表H、羟基、具有1-6个碳原子的烷基或具有1-6个碳原子的烷氧基；分子式(Vc)的基团：<img file="A2006101620680003C3.GIF" wi="1173" he="235" />其中P<sup>6</sup>和P<sup>7</sup>各自独立地代表具有1-6个碳原子的烷基或具有3-10个碳原子的环烷基，或P<sup>6</sup>和P<sup>7</sup>键合，形成具有3-7个碳原子的二价无环烃，它与相邻的S<sup>+</sup>一起形成环，和在该二价无环烃中的至少一个-CH<sub>2</sub>-可被-CO-、-O-或S-取代；P<sup>8</sup>代表H；P<sup>9</sup>代表具有1-6个碳原子的烷基、具有3-10个碳原子的环烷基或任选地被取代的芳基，或P<sup>8</sup>和P<sup>9</sup>键合，与相邻的-CHCO-一起形成2-氧环烷基。 |
