发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Bor-Phosphor-Silikatglasfilmes
摘要
申请公布号 DE19605787(B4) 申请公布日期 2007.05.16
申请号 DE19961005787 申请日期 1996.02.18
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO. LTD. 发明人 YOO, KYONG SIK
分类号 H01L21/316;H01L21/3205;C03C27/00;C03C27/04;H01L21/3105;H01L21/768 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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