发明名称 测量激光器芯片用的夹具及制作方法
摘要 一种测量激光器芯片用的夹具,其特征在于,其中包括:一基板,该基板的上表面开有一V型沟槽,该V型沟槽的底部为一平面形的低台面;一金电极,该金电极制作在基板和V型沟槽的上表面上;一镀锡电极,该镀锡电极制作在V型沟槽的低台面上的金电极上。
申请公布号 CN1316697C 申请公布日期 2007.05.16
申请号 CN200410033308.2 申请日期 2004.04.02
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 张胜利;孙建华;祝宁华
分类号 H01S5/00(2006.01);H01L21/68(2006.01);H01L21/66(2006.01) 主分类号 H01S5/00(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1、一种测量激光器芯片用的夹具,其特征在于,其中包括:一基板,该基板的上表面开有一V型沟槽,该V型沟槽的底部为一平面形的低台面;一金电极,该金电极制作在基板和V型沟槽的上表面上;一镀锡电极,该镀锡电极制作在V型沟槽的低台面上的金电极上。
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