发明名称 |
测量激光器芯片用的夹具及制作方法 |
摘要 |
一种测量激光器芯片用的夹具,其特征在于,其中包括:一基板,该基板的上表面开有一V型沟槽,该V型沟槽的底部为一平面形的低台面;一金电极,该金电极制作在基板和V型沟槽的上表面上;一镀锡电极,该镀锡电极制作在V型沟槽的低台面上的金电极上。 |
申请公布号 |
CN1316697C |
申请公布日期 |
2007.05.16 |
申请号 |
CN200410033308.2 |
申请日期 |
2004.04.02 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
张胜利;孙建华;祝宁华 |
分类号 |
H01S5/00(2006.01);H01L21/68(2006.01);H01L21/66(2006.01) |
主分类号 |
H01S5/00(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1、一种测量激光器芯片用的夹具,其特征在于,其中包括:一基板,该基板的上表面开有一V型沟槽,该V型沟槽的底部为一平面形的低台面;一金电极,该金电极制作在基板和V型沟槽的上表面上;一镀锡电极,该镀锡电极制作在V型沟槽的低台面上的金电极上。 |
地址 |
100083北京市海淀区清华东路甲35号 |