整合型干涉扫描方法

摘要

本发明整合型干涉扫描方法主要是整合VSI、PSI测量各自的优点，而达到没有测量范围限制以及高精确度的特点。尤其是基于VSI测量和PSI测量之间的斜率校正因子、位移校正因子，对VSI、PSI的高度数据数组进行整合计算，干涉扫描系统可仅使用宽频光源即可完成所需的扫描程序，进而降低扫描系统的复杂度与误差。

主权项

1.一种整合型干涉扫描方法，是整合水平扫描测量、相位移测量所测量出的高度数据数组，该高度数据数组可用来计算出待测物的表面轮廓，该整合型干涉扫描方法包含：借助宽频光源的干涉扫描系统对该待测物进行扫描，并获得扫描信息；基于该扫描信息以VSI测量出VSI的该高度数据数组；针对零光程差的位置，基于该扫描信息改以PSI测量出PSI的该高度数据数组；以及基于VSI测量和PSI测量之间的斜率校正因子、位移校正因子，对VSI的该高度数据数组、PSI的该高度数据数组进行整合计算。