| 发明名称 | 电离真空计 | ||
| 摘要 | 一种用于将电子源与气体分子相隔离的电离真空计，所述的电离真空计包括用于产生电子的电子源，用于收集由于电子和气体分子的撞击而形成的离子的集电极，以及用于将电子源与气体分子相隔离的电子窗体。电离真空计能够带有限定极板空间的极板，以及可以将电子保留在极板区域内。电离真空计能够带有多个电子源和/或集电极。所述的集电极能够被安置在极板空间的内部或极板空间的外部。电离真空计能够带有质量过滤器，所述的质量过滤器用于基于质荷比分开离子。电离真空计可以是能够测量压力的Bayard－Alpert型或是能够测量气体类型的残余气体分析仪。 | ||
| 申请公布号 | CN1965219A | 申请公布日期 | 2007.05.16 |
| 申请号 | CN200580007960.X | 申请日期 | 2005.03.10 |
| 申请人 | 布鲁克斯自动化有限公司 | 发明人 | 保罗·C·阿诺德;保罗·M·拉特 |
| 分类号 | G01L21/32(2006.01);H01J33/00(2006.01);H01J41/00(2006.01);H01J41/04(2006.01) | 主分类号 | G01L21/32(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 过晓东 |
| 主权项 | 1.一种电离真空计，包括：电子源，用于产生电子；集电极，用于收集由于电子和气体分子之间的撞击所形成的离子；以及电子窗体，用于将电子源与气体分子相隔离。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||