形状测定机

摘要

一种形状测定机，其具备：输出含有工件评价对象面的截面形状信息的测定数据的粗糙度传感器；使工件上的该粗糙度传感器位置沿该评价对象面相对移动，并将该相对移动量以移动分辨率 Δθ间距作为对准移动量信息输出的相对移动机构；以比该相对移动机构移动移动分辨率Δθ所需要的时间短的一定时间间隔t_s对来自于该粗糙度传感器的测定数据进行实时采样的实时采样装置；基于来自于该相对移动机构的对准移动量信息，将来自于该实时采样装置的一定时间间隔t_s的测定数据设为间隔定间距的测定数据，并基于该间隔定节距测定数据评价工件的表面粗糙度的数据处理机构。

主权项

1、一种形状测定机，其特征在于，具备：载置具有表面粗糙度评价对象面的工件的工作台；检测所述工作台上载置的工件评价对象面的截面形状，输出含有该截面形状信息的测定数据的粗糙度传感器；使该工作台和该粗糙度传感器相对移动，以使所述工件上的所述粗糙度传感器位置沿所述评价对象面相对移动，且将该相对移动量以移动分辨率Δθ间距作为对准移动量信息输出的相对移动机构；以比所述相对移动机构移动了移动分辨率Δθ所需要的时间短的一定时间间隔ts对来自于所述粗糙度传感器的测定数据进行采样的实时采样装置；基于来自于所述相对移动机构的对准移动量信息，将来自于所述实时采样装置的一定时间间隔ts的测定数据设为间隔定间距的测定数据，并基于该间隔定间距测定数据评价工件评价对象面的表面粗糙度的数据处理机构，所述数据处理机构得到比所述相对移动机构的移动分辨率Δθ间距小且其大小为粗糙度评价所需要的大小的间隔定间距的测定数据。